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国家重点研发计划课题综合绩效评价会在kok体育召开

发表时间：　2021-11-25

11月23日，国家重点研发计划“重大科学仪器设备开发”项目“微纳结构动态特性测试仪项目”课题综合绩效评价会，在KOK体育软件app下载召开。

会议邀请了中科院微电子所、中科院苏州生物医学工程技术研究所、南开大学、中科院半导体研究所、山东理工大学、北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室的多位业内专家学者，对各课题目标和考核指标完成情况、研究成果的水平及创新性、成果示范推广及应用前景、课题对项目总体目标的贡献、人才培养和组织管理等情况进行综合绩效评价。

KOK体育软件app下载董事长戴林代表项目牵头单位致辞发言，天津市科技局高新处处长谭振东、天津滨海高新区科技发展局局长王祺出席会议。谭振东处长充分肯定了kok体育牵头的项目组主动承担国家任务的能力和决心，证明了kok体育作为战略科技力量的技术创新能力。

该项目由KOK体育软件app下载牵头，联合余姚舜宇智能光学技术有限公司、中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、天津大学、中国航空工业集团公司北京长城航空测控技术研究所、歌尔股份有限公司、清华大学、长春光华微电子设备工程中心有限公司共8家单位共同承担。项目下设6个研究课题，历时三年，针对MEMS微纳器件结构精细、系统复杂、难以进行品质综合检测的问题，在进一步提高激光多普勒测振性能的基础上，结合频闪微视觉和显微干涉技术集成开发微纳结构动态特性测试仪，实现MEMS器件三维振动及表面形貌的精确测量，目前已完成了仪器设备开发工作，仪器技术就绪度评估达到9级标准，实现了仪器工程化和产业化推广，各课题均通过专家组的综合绩效评价、顺利验收。